特許
J-GLOBAL ID：200903034240481305
インクジェットプリントヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-240371
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076490
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：
【要約】【課題】 比較的薄い圧電膜を用いて、インク吐出に十分な発生圧力と変位体積を有するヘッド構造を提供する。【解決手段】 列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室を有する(110)面を主面とする単結晶シリコンからなる加圧室基板、この加圧室基板の片面を覆蓋し前記隔壁により懸架かつ固定され、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜と下部駆動電極と圧電性膜と上部駆動電極からなる略長方形状の圧力発生膜、各々の加圧室に連通するインク吐出ノズルとインク供給孔からなり、前記略長方形状の圧力発生膜の長辺に垂直方向のたわみによる発生圧力によりインクを吐出するインクジェットプリントヘッドであって、 前記圧力発生膜の長辺に垂直方向と前記(1 1 0)面を主面とする単結晶シリコン基板の(1 -1 0)方向とのなす角度の絶対値が30°から45°の範囲である。
請求項（抜粋）：
列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室を有する(110)面を主面とする単結晶シリコンからなる加圧室基板、該加圧室基板の片面を覆蓋し前記隔壁により懸架かつ固定され、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜と下部駆動電極膜と圧電性膜と上部駆動電極膜からなる略長方形状の圧力発生膜、各々の加圧室に連通するインク吐出ノズルとインク供給孔からなり、前記略長方形状の圧力発生膜の長辺に垂直方向のたわみによる発生圧力によりインクを吐出するインクジェットプリントヘッドであって、前記圧力発生膜の長辺に垂直方向と前記(1 1 0)面を主面とする単結晶シリコン基板の(1 -1 0)方向とのなす角度の絶対値が30°から45°の範囲であることを特徴とするインクジェットプリントヘッド。
IPC (2件)：
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