特許

J-GLOBAL ID：200903034241666929

熱型赤外線検出素子

発明者： 池川 純夫
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-097118
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299703
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 室温以上の温度において適切な温度特性を得ることが可能な赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 結晶構造を有する絶縁性の下地層8と、下地層8上にエピタキシャル形成されたボロメータ薄膜9とを備えた熱型赤外線検出素子であって、ボロメータ薄膜9は、化学式がCa2-xSrxRuO4-d (ただし、0≦x≦0.05、dは酸素のストイキオメトリからのずれを表す値)で表される物質によって構成され、且つ下地層8と格子定数が異なる。

請求項（抜粋）：

結晶構造を有する絶縁性の下地層と、この下地層上にエピタキシャル形成されたボロメータ薄膜とを備えた熱型赤外線検出素子であって、前記ボロメータ薄膜は、化学式がCa2-xSrxRuO4-d (ただし、0≦x≦0.05、dは酸素のストイキオメトリからのずれを表す値)で表される物質によって構成され、且つ前記下地層と格子定数が異なることを特徴とする熱型赤外線検出素子。

IPC (6件)：

H01L 37/00 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/48 ,  H01L 27/14

FI (6件)：

H01L 37/00 ,  G01J 1/02 C ,  G01J 1/42 B ,  G01J 5/02 C ,  G01J 5/48 F ,  H01L 27/14 K

Fターム (18件)：

2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA32 ,  2G065BA34 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09 ,  2G066CA02 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA01 ,  4M118CA01 ,  4M118CB20