特許
J-GLOBAL ID:200903034249074249

製造プロセスにおける操業分析装置、方法、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 國分 孝悦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-338359
公開番号(公開出願番号):特開2003-141215
出願日: 2001年11月02日
公開日(公表日): 2003年05月16日
要約:
【要約】【課題】 プロセスの操業及び品質データを適切に解析できるようにする。【解決手段】 プロセス操業データを基底ベクトルとする操業因子空間を局所領域に分割する操業因子空間分割部102と、各局所領域における操業因子と品質の関連性を表現する局所関係式を導出する局所関係式算出部104と、各局所関係式の全体への寄与率を操業データに基づいて算出する活性度関数を導出する活性度関数算出部103と、局所関係式と活性度関数を有する局所領域の重ね合せとして操業因子と品質の関連を表す数式モデルを導出する数式モデル算出部105と、複数の分割パターンについて求めた数式モデルの内、最小誤差数式モデルを選択する最小誤差数式モデル選択部106と、最小誤差数式モデルの誤差に応じて操業因子空間を更に細分割して各手段での処理を繰り返し実行するよう判定する学習誤差評価部106とを備えている。
請求項(抜粋):
製造プロセスにおける操業及び品質データを解析して、複数の操業因子と品質の関連性を分析する操業分析装置であって、プロセス操業データ及び品質データを入力するデータ入力手段と、プロセス操業データを基底ベクトルとする操業因子空間を複数の局所領域に分割する操業因子空間分割手段と、各局所領域における操業因子と品質の関連性を表現する局所関係式を導出する局所関係式算出手段と、各局所関係式の全体への寄与率を操業データに基づいて算出する活性度関数を導出する活性度関数算出手段と、前記局所関係式と前記活性度関数を有する局所領域の重ね合せとして操業因子と品質の関連を表す数式モデルを導出する数式モデル算出手段と、複数の分割パターンについて求めた数式モデルの内、最も誤差の少ない最小誤差数式モデルを選択する最小誤差数式モデル選択手段と、前記最小誤差数式モデルの誤差が与件の収束判定因子より大きければ操業因子空間を更に細分割して上記の各手段での処理を繰り返し実行するよう判定する学習誤差評価手段とを備えたことを特徴とする操業分析装置。
IPC (2件):
G06F 17/60 108 ,  G06F 19/00 110
FI (2件):
G06F 17/60 108 ,  G06F 19/00 110

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