特許
J-GLOBAL ID:200903034260500829

加速度センサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-329047
公開番号(公開出願番号):特開平7-191052
出願日: 1993年12月24日
公開日(公表日): 1995年07月28日
要約:
【要約】【目的】 加速度を検出するセンサーに関するもので、従来の圧電型センサーの直流成分の加速度が検出できないという欠点を解決し、小型化が可能で優れた特性を持つ加速度センサーの実現を目的とする。【構成】 加速度により移動可能な慣性体1と、それを支持する支持梁2と、支持梁上に設置された共振体3を備え、共振体3は共振体を励振する励振部4と振動を伝搬する伝搬部5と、振動状態を励振する励振部6とよりなり、加速度が印加された際、共振体の変形により生じる振動状態の変化を、励振部への入力信号と受信部の出力信号により検出し、加速度を測定することを特徴とするものであり、例えば励振部受信部に圧電素子を用い、共振体の共振周波数を検出することにより、高感度で精度が高く、直流成分の加速度が測定可能で、小型化が容易な加速度センサーが得られる。
請求項(抜粋):
加速度により移動可能な慣性体と、前記慣性体を支持し慣性体の移動時に変形する支持梁と、前記支持梁上に設置された共振体を備え、前記共振体は共振体を励振する励振部と振動状態を検知する受信部と振動を励振部から受信部に伝搬する伝搬部とよりなり、加速度が印加された際、支持梁の変形に対応した共振体の変形により生じる共振体の振動状態の変化を、前記励振部への入力信号と受信部よりの出力信号により検出して印加された加速度を測定することを特徴とする加速度センサー。
IPC (2件):
G01P 15/09 ,  G01P 15/10
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • 特開平2-248865

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