特許
J-GLOBAL ID：200903034272761229
非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010085
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220669
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 非点補正、適正な軸合わせを正確かつ容易に行えるようにする。【構成】 電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、データを格納するメモリと、表示装置とを備え、電子線を少なくとも3方向に傾斜させたときの電子顕微鏡像を前記カメラで撮影してコンピュータに取り込み、コンピュータで計算した複数のフーリエ変換パターンから軸合わせ量を検出して補正することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、データを格納するメモリと、表示装置とを備え、前記カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエスペクトルパターンに変換し、電子顕微鏡の非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成して前記メモリに格納しておき、格納した非点補正データに基づき非点補正を行うようにしたことを特徴とする非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22 501
, H01J 37/04
, H01J 37/153
