特許
J-GLOBAL ID：200903034275404222
非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041997
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229721
出願日： 1994年02月16日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 計算機ホログラムを用いて非球面形状を高精度に測定することが出来る非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法を得ること。【構成】 基板面に球面波を非球面波に変換させる非球面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムを設けたこと。
請求項（抜粋）：
基板面に球面波を非球面波に変換させる非球面波発生用の計算機ホログラムと、該基板の非球面波発生用の計算機ホログラムを設けた面又はその反対側の面に球面波を該球面波の曲率半径とは異なった曲率半径の球面波に変換させる球面波発生用の計算機ホログラムとを設けたことを特徴とする非球面波発生装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01M 11/00
, G03H 1/08
