特許

J-GLOBAL ID：200903034276042871

固体撮像素子と補正方法及び補正装置

発明者： 丸山 康
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084998
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284708
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 製造がなされた固体撮像素子の出力リニアリティ特性およびドリフト特性を効果的な補正方法および補正装置を提供する。【解決手段】 MOS型電界効果トランジスタで構成され、感度ムラ或いは出力リニアリティ不良がある画素を有する固体撮像素子に適用される補正方法であって、出力電圧の不均一部分を検査し(ステップS1)、感度ムラ或いは出力リニアリティ不良がある各画素があれば(ステップS2)、チャネルホットキャリア注入が発生するバイアス電圧を順次印加し(ステップS3)、バイアス電圧印加は、各画素内での局所的しきい値電圧のばらつきが所定の範囲内になるまで継続される(ステップS4)。

請求項（抜粋）：

MOS型電界効果トランジスタで構成され、感度ムラ或いは出力リニアリティ不良がある画素を有する固体撮像素子に適用される補正方法であって、前記感度ムラ或いは出力リニアリティ不良がある各画素に、チャネルホットキャリア注入が発生するバイアス電圧を順次印加し、前記バイアス電圧印加は、各画素内での局所的しきい値電圧のばらつきが所定の範囲内になるまで継続されることを特徴とする固体撮像素子の補正方法。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H04N 1/19 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 Z ,  H04N 5/335 E ,  H01L 27/14 A ,  H04N 1/04 103 C