微細な表面形状を持つ構造物およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232558
公開番号（公開出願番号）：特開平9-077532
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】微細な表面形状を持つ構造物において、微細な表面形状として、錐体形状や屋根型形状の簡易な実現を可能にする。【解決手段】構造物材料10の平滑な面上に、1以上の微細な錐体もしくは屋根型形状に対応する1以上の出発形状を有する形状形成層20を形成し、1以上の出発形状を形成された形状形成層20と構造物材料10とに対して、異方性のドライエッチングを行ない、出発形状に対応させて、1以上の微細な錐体もしくは屋根型形状を構造物材料に形成する。エッチングの際、選択比を連続的および/または段階的に変化させることにより、1以上の出発形状を1以上の所望の錐体もしくは屋根型形状に変形させつつ構造物材料に彫り写す。

請求項（抜粋）：

1以上の微細な錐体形状を表面形状とする構造物を製造する方法であって、構造物材料の平滑な面上に、上記1以上の微細な錐体形状に対応する1以上の出発形状を有する形状形成層を形成する出発形状形成工程と、上記1以上の出発形状を形成された形状形成層と上記構造物材料とに対して、異方性のドライエッチングを行なって、上記出発形状に対応させて、上記1以上の微細な錐体形状を構造物材料に形成するエッチング工程とを有し、上記エッチング工程において、選択比を連続的および/または段階的に変化させることにより、上記1以上の出発形状を、1以上の所望の錐体形状に変形させつつ上記構造物材料に彫り写すことを特徴とする、微細な表面形状を持つ構造物の製造方法。

IPC (3件)：

C03C 15/00 , C23F 4/00 , G03F 7/40 521

FI (3件)：

C03C 15/00 Z , C23F 4/00 A , G03F 7/40 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

薄型液晶ディスプレイ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-122254 出願人：ソニー株式会社
液晶表示パネル
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-230147 出願人：スタンレー電気株式会社
基板上へのマイクロレンズアレイの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054408 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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