特許
J-GLOBAL ID:200903034281461548
走査型光学顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
韮澤 弘
, 阿部 龍吉
, 蛭川 昌信
, 白井 博樹
, 内田 亘彦
, 菅井 英雄
, 青木 健二
, 米澤 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-140033
公開番号(公開出願番号):特開2004-341394
出願日: 2003年05月19日
公開日(公表日): 2004年12月02日
要約:
【課題】軸外での性能劣化が少なく、観察する物体に影響を及ぼすことの少ない、波面変換素子を用いた走査型光学顕微鏡。【解決手段】光源11と、そこから発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子2と、波面変換素子2から発する波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段3と、光束走査手段3によって進行方向を変えた照明光を物体Oに集光する対物レンズ4と、物体Oから発する信号光を検出する検出器53とを備え、対物レンズ4の中で最も物体側にある光学素子が物体に対して位置を固定され、対物レンズ4は物体に対して移動するレンズを含み、その移動と同期して、波面変換素子2を変調するように構成した走査型光学顕微鏡。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、前記光源から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子と、前記波面変換素子から発する波面変換後の照明光を互いに直交する方向に走査する光束走査手段と、前記光束走査手段によって進行方向を変えた照明光を物体に集光する対物レンズと、前記物体から発する信号光を検出する検出器とを備え、前記対物レンズの中で最も物体側にある光学素子が物体に対して位置を固定され、前記対物レンズは物体に対して移動するレンズを含み、その移動と同期して、前記波面変換素子を変調するように構成したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (6件):
G02B21/00
, G02B5/10
, G02B13/00
, G02B13/18
, G02B17/08
, G02B21/02
FI (6件):
G02B21/00
, G02B5/10 B
, G02B13/00
, G02B13/18
, G02B17/08 A
, G02B21/02 A
Fターム (37件):
2H042DA20
, 2H042DD11
, 2H042DE09
, 2H052AA07
, 2H052AB01
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD06
, 2H052AF06
, 2H087KA09
, 2H087LA01
, 2H087LA27
, 2H087NA01
, 2H087PA07
, 2H087PA08
, 2H087PA16
, 2H087PB13
, 2H087PB14
, 2H087QA02
, 2H087QA07
, 2H087QA12
, 2H087QA14
, 2H087QA21
, 2H087QA22
, 2H087QA25
, 2H087QA26
, 2H087QA33
, 2H087QA34
, 2H087QA41
, 2H087QA42
, 2H087QA45
, 2H087RA05
, 2H087TA01
, 2H087TA03
, 2H087TA06
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