特許
J-GLOBAL ID:200903034295837117

透明導電膜の製造方法及び測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-349276
公開番号(公開出願番号):特開平5-156439
出願日: 1991年12月05日
公開日(公表日): 1993年06月22日
要約:
【要約】【目的】 透明導電膜の製造において膜の損傷をおこさず、かつ均一な膜表面電気抵抗値を有する膜の製造。【構成】 透明導電膜の光透過率と膜表面電気抵抗値の関係をあらかじめ測定し、得られる関係式を入力した演算処理部を有する膜表面電気抵抗値の測定装置を製膜工程にオンラインで使用し、この測定装置の出力によって製膜工程の操作を該測定装置の出力が一定になる様に制御する。
請求項(抜粋):
透明導電膜の製造工程において、該透明導電膜の光透過率を測定し、該測定値を演算処理して得られる膜表面電気抵抗値により上記製造工程における製膜操作を制御することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
IPC (3件):
C23C 14/54 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/40

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