特許

J-GLOBAL ID：200903034298862651

有機共蒸着膜の製造方法

発明者： 平本 昌宏 ,  横山 正明
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265225
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076027
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 共蒸着薄膜の微細構造を制御する。【解決手段】 基板7の温度を基板冷却・加熱装置8で制御して冷却または加熱しながら、蒸着源2,3から同時に有機材料(A)と(B)を蒸発させ、その基板7上に両有機材料を混合しながら堆積させる。分子的混合、結晶微粒子相とアモルファス相との混合、結晶同士の混合、超格子を基板に直立させたのと同等な構造など、任意の微細レベルの混合状態の有機・有機共蒸着薄膜を作製する。

請求項（抜粋）：

複数の有機半導体を同一の基板上に同時に蒸着することによって得られる前記有機半導体の複合膜である有機共蒸着膜を製造する方法において、前記基板の温度を所定の温度に制御することによって、前記有機共蒸着膜の複合構造を制御することを特徴とする有機共蒸着膜の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 21/363 ,  C23C 14/12 ,  H01L 31/04 ,  H01L 51/00

FI (4件)：

H01L 21/363 ,  C23C 14/12 ,  H01L 31/04 D ,  H01L 29/28

Fターム (30件)：

4K029BA62 ,  4K029BA64 ,  4K029BB08 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DB14 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  5F051AA11 ,  5F051AA12 ,  5F051CB29 ,  5F051DA03 ,  5F103AA01 ,  5F103BB15 ,  5F103BB41 ,  5F103BB42 ,  5F103BB53 ,  5F103DD25 ,  5F103GG02 ,  5F103GG03 ,  5F103LL01 ,  5F103LL04 ,  5F103NN01 ,  5F103RR05 ,  5F103RR06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 有機光起電力素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-311986   出願人：株式会社リコー
• 有機薄膜及びその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-054768   出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (1件)

• 有機光起電力素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-311986   出願人：株式会社リコー