特許

J-GLOBAL ID：200903034306027740

コンフォーカルレーザ走査微分干渉顕微鏡

発明者： 塩野谷 孝 ,  岩崎 純 ,  大木 裕史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094998
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】被検物体の段差の高低差を定量的に測定できるコンフォーカルレーザ走査微分干渉顕微鏡を提供する。【構成】被検物体上に、順に配列された第1、第2、第3の3つの光スポットを照射し、前記3つの光スポットのうち第2の光スポットの反射光から、ダブルモード導波路中に偶・奇モードを励起して、偶・奇モードの干渉を用いて、被検物体の第2の光スポットが照射された領域の微分情報を得る。また、3つの光スポットのうち第1、第3の光スポットの反射光を干渉させ、位相差を求めることにより、被検物体の前記第1、第3の光スポットが照射された領域間の高低差を得る。

請求項（抜粋）：

被検物体上に、光スポットを照射する照明光学系と、前記光スポットを前記被検物体に対して相対的に移動させる走査手段と、前記光スポットについての前記被検物体からの反射光を検出する検出光学系とを有するコンフォーカルレーザ走査微分干渉顕微鏡であって、前記照明光学系は、前記被検物体上に、順に配列された第1、第2、第3の3つの光スポットを照射し、前記検出光学系は、前記3つの光スポットのうち第2の光スポットの反射光から、前記被検物体の第2の光スポットが照射された領域の微分情報を得る第1の検出光学系と、前記3つの光スポットのうち第1、第3の光スポットの反射光から、前記被検物体の前記第1、第3の光スポットが照射された領域間の高低差を得る第2の検出光学系とを有し、前記第1の検出光学系は、前記第2の光スポットの反射光の光路上に入射端を有するダブルモード導波路部と、前記ダブルモード導波路部を伝搬した光を2つに分岐するための分岐部と、前記分岐部で分岐された2つの光をそれぞれ導波して出射する2本の導波路部とを備えた第1の導波路光学系と、第1の導波路光学系の2本の導波路部の出射端にそれぞれ配置されて、出射光の強度を検出する第1および第2の検出手段と、前記第1の検出手段の検出信号と第2の検出手段の検出信号との差を求める差分演算手段とを有し、前記第2の検出光学系は、前記第1、第3の2つの光スポットの反射光の光路上にそれぞれ入射端を有する2本のシングルモードの導波路部と、前記2本のシングルモード導波路部を伝搬した光を合波するための合波部と、前記合波部の合波した光を導波して出射する1本のシングルモード導波路部とを備えた第2の導波路光学系と、前記第2の導波路光学系の1本のシングルモード導波路部の出射端に配置されて、出射光の強度を検出する第3の検出手段とを有することを特徴とするコンフォーカルレーザ走査微分干渉顕微鏡。