特許

J-GLOBAL ID：200903034307957903

表面反射防止コーティングフィルム

発明者： ウイリアム・アール・ブランズボウルド ,  ジヨージ・ジエイ・ヘフエロン ,  クリストフアー・エフ・ライアンズ ,  ウエイン・エム・モロー ,  ロバート・エル・ウツド
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188598
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 水性現像可能なフォトレジストに使用するための反射防止コーティングの提供。【構成】 その下にあるフォトレジストの屈折率の平方根にほぼ等しい屈折率をもつフッ素を含有する、表面反射防止コーティングにより、水性現像可能なフォトレジスト組成物の高忠実度なパターン転写が達成され、このコーティングはフォトレジストの現像に際してとり除かれる。

請求項（抜粋）：

水性-処理可能なフィルム形成性のフッ素-含有組成物からなり、この組成物は水性現像可能なフォトレジスト組成物の屈折率の平方根とほぼ等しい屈折率をもち、そしてレジストパターンの現像に際して除去可能なものである、水性現像可能なフォトレジスト組成物に使用するための反射防止コーティング。

IPC (2件)：

G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭62-062520
  
• 特開昭64-009618
  
• 特開昭62-042160
  
• 特表平4-505371
  
• 特開平2-246108