透過型電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅井英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-082145
公開番号（公開出願番号）：特開2002-279926
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】拡張MDS機能を備える透過型電子顕微鏡において、写真撮影する場合に焦点合わせ位置を正しく傾斜軸上に設定できるようにする。【解決手段】表示制御装置22は、TVカメラ21で撮像した画像をモニタ24に表示すると共に、電子顕微鏡本体制御部30からの傾斜軸情報に基づいて傾斜軸パターンをモニタ24に重畳表示する。入力装置23によりオペレータが傾斜軸パターンの傾斜軸近傍の点を指示すると、表示制御装置22は指示点から距離が最も近い傾斜軸J上に焦点合わせ位置を設定し、その焦点合わせ位置の情報を電子顕微鏡本体制御部30に通知する。そして、電子顕微鏡本体制御部30は当該焦点合わせ位置情報に基づいて、電子線を当該焦点合わせ位置に集束して照射するように電子顕微鏡本体の各部を制御する。この後オペレータは焦点合わせを行えばよく、その後に写真撮影を行う。

請求項（抜粋）：

電磁レンズ、偏向コイル等の電子顕微鏡本体各部を制御する電子顕微鏡本体制御部と、試料を傾斜あるいは回転させるための傾斜・回転機構と、蛍光板に結像された像を撮像するTVカメラと、表示制御装置と、入力装置と、モニタとを備え、電子顕微鏡本体制御部は、傾斜・回転機構によって試料が傾斜あるいは回転された場合、または電磁レンズにより蛍光板上の像が回転された場合に、傾斜方向とその角度、あるいは回転方向とその角度に基づいて傾斜軸情報を生成して表示制御装置に通知し、表示制御装置は、TVカメラで撮像された拡大像をモニタに表示すると共に、電子顕微鏡本体制御部から受けた傾斜軸情報に基づいてモニタに傾斜軸パターンを表示し、入力装置によって焦点合わせ位置が指示された場合には、当該指示位置から距離が最も近い傾斜軸パターンの傾斜軸上に焦点合わせ位置を設定して、その焦点合わせ位置の情報を電子顕微鏡本体制御部に通知し、電子顕微鏡本体制御部は、表示制御装置から受けた焦点合わせ位置の情報に基づいて、電子線を当該焦点合わせ位置に集束して照射するように電子顕微鏡本体の各部を制御することを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/26 , H01J 37/21 , H01J 37/22 501

FI (3件)：

H01J 37/26 , H01J 37/21 A , H01J 37/22 501 D

Fターム (5件)：

5C033LL01 , 5C033LL03 , 5C033SS01 , 5C033SS02 , 5C033SS04

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