特許

J-GLOBAL ID：200903034325613731

測定機におけるプローブ装置

発明者： 中河原 英満 ,  荒井 治 ,  大家 清 ,  藤田 義之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201723
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055451
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】選択したフィーラを、常にプローブから視線を外すことなく認識できるプローブ装置を得る。【構成】被測定物との接触を検知して検出信号をそれぞれ出力する複数のフィーラがプローブ本体に所定の位置関係で配置されたプローブ本体(1,11)上に、複数のフィーラ(3a〜3e)の中のどのフィーラが選択されているかを表示する表示部(5,15)を設けた。

請求項（抜粋）：

被測定物との接触を検知して検出信号をそれぞれ出力する複数のフィーラがプローブ本体に所定の位置関係で配置され、該複数のフィーラを選択的に使用して前記被測定物を測定する、測定機におけるプローブ装置において、前記複数のフィーラの中のどのフィーラが選択されているかを表示する表示手段を前記プローブ本体上に設けたことを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

G01B 21/00 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/28