特許
J-GLOBAL ID：200903034326827336
マーク検出装置及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-055456
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260679
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 オートフォーカス光学系にて、確実にアライメントマークに関する焦点合わせを実行できるようなマーク検出装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 投影露光装置1には、オートフォーカス光学系Qaが付設されたマーク検出装置Qが備えられている。これにはマーク検出用に照明光源Q1a及び撮像素子Qcが、オートフォーカス用に瞬時発光可能なAF光源Qaa及びAF用撮像素子Qacが、それぞれ備えられている。なお、AF光源Qaaの光量は、照明光源Q1aのそれよりも大きく設定されている。これら両光源Q1a、Qaaから発せられた光は共にアライメントマークA上に照射される。すなわち、アライメントマークAと対物レンズQ1gの焦点面との合焦作業は、アライメントマークAそのものに基づいて実施されることになる。また、この合焦作業は、照明光源Q1aを点灯したままで行うことができる。
請求項（抜粋）：
対物光学系を介して物体上のマークを検出するマーク検出装置において、前記マークの検出に先立って前記対物光学系の焦点面に前記マークを配置するために、前記対物光学系の光軸方向に関する前記対物光学系の焦点面と前記マークとの相対位置に関する情報を検出する位置検出系を備え、前記位置検出系は瞬時発光可能な光源を有することを特徴とするマーク検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 525 E
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 A
, H01L 21/30 526 A
