特許
J-GLOBAL ID：200903034327924203
スライダ製造用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016131
公開番号（公開出願番号）：特開平5-210933
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 磁気ディスク用で、圧電型アクチュエータを有するスライダを製造するに好適なスライダ製造用基板を提供する。【構成】 本発明の基板は、圧電材料の層2と導電材料の層3と交互に積層した積層体と、その積層体の両面に形成した摺動材料の層9とから構成する。なお基板の圧電材料の層と導電性材料の層との積層面が、スライダの滑走面と垂直でかつスライダの滑走方向(長手方向)に平行になるように加工する。【効果】 適宜大きな面積を有する本発明の基板の面上に従来からの薄膜の形成プロセスを用いて一度に多数のスライダ分に相当する磁気ヘッドを形成することができ、圧電型アクチュエータを組み込む方式のスライダに比べて、その種スライダの大量生産と低コスト化を可能にする。
請求項（抜粋）：
磁気ディスク装置用スライダを製造するのに用いる基板として、圧電材料の層と導電性材料の層を交互に積層して構成したことを特徴とするスライダ製造用基板。
IPC (2件)：
G11B 21/21 101
, G11B 21/10
