特許
J-GLOBAL ID：200903034331888335
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156767
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 搬送装置が暴走してもダメージ与えたり、受けたりしないこと。またセンサの導線が可動部分と静止部分の境で切断しやすく、また回転角度を制限しているので、導線を用いないで信号を伝達すること。【解決手段】 キャリアの直進方向の動きを制限する機構的な手段として、一対の第1の腕に突起物を付加し、第1の腕同士が成す角度が小さくなった時、第1の腕の突起物同士が接触してそれ以上回転しなくなるようにした。
請求項（抜粋）：
二軸の駆動軸を同軸に配し、各々駆動軸の同一側の一端には軸を回転させるための駆動系を持ち、駆動軸の他端には軸と結合して駆動可能な一対の第1の腕と、第1の腕の他端には第1の腕に対して駆動軸と直角を成す平面で回転自在な構成からなる一対の第2の腕を結合させ、そして第2の腕の他端には各々第2の腕の開き角を同一にする機構を具備する関節と、各々関節の回転中心軸で支持された被搬送物を載置するキャリアを有し、前記キャリアを支持する関節部が駆動軸の回転中心軸上を通過可能な搬送装置において、一対の第1の腕の片方に、もしくは一対の第1の腕の両方に、第1の腕の回転角を制限するための構造体を設けたことを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
B25J 9/06
, B25J 18/02
, B25J 19/00
, H01L 21/68
B25J 9/06 A
, B25J 18/02
, B25J 19/00 C
, B25J 19/00 J
, H01L 21/68 A
