特許
J-GLOBAL ID:200903034342546576
半導体試験システム用電力供給装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-041949
公開番号(公開出願番号):特開平7-072205
出願日: 1991年03月07日
公開日(公表日): 1995年03月17日
要約:
【要約】【構成】 本発明は、半導体試験システムにおいて、被試験デバイスである半導体に設定テスト・パターン電圧を供給し、出力電圧に影響を及ぼさずに電流レンジ抵抗を切り換え得る電力供給装置である。
請求項(抜粋):
被試験デバイスに設定電圧を供給し、かつ、出力電圧に影響を及ぼさずに電流レンジを切り換える半導体試験システム内の電力供給装置であって、被試験デバイスを設定電圧に維持するための電圧帰還回路閉ループと、前記電圧帰還回路閉ループと独立に機能し、電流レンジ抵抗の電圧を入力とする電流帰還回路閉ループとを有することを特徴とする電力供給装置。
IPC (3件):
G01R 31/28
, G01R 31/26
, G05F 1/00
引用特許:
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