特許

J-GLOBAL ID：200903034344353430

ウエハ識別装置及び識別方法

発明者： 岡野 王俊
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084978
公開番号（公開出願番号）：特開2001-273486
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 成膜及びポリッシング等のプロセスを繰り返しても読み取り困難にならず、かつそれらプロセスになんら悪影響を及ぼさないウエハ識別装置及び方法を提供することを目的とする【解決手段】 ウエハ裏面の凹凸の画像を取り込むCCD等の入力部100と、画像中に存在するノイズを除去する補正部220と、ノイズを除去した画像から凹凸の輪郭を含む特徴部を抽出する特徴抽出部230と、特徴部の情報を記憶する画像メモリ300と、新たに取り込んだ凹凸画像から抽出された凹凸の特徴部と、前記記憶部に記憶されている凹凸の特徴部とを比較し、同一の凹凸か否かを識別する識別部240とを具備する。

請求項（抜粋）：

ウエハ裏面の凹凸の画像を取り込む入力部と、前記画像中に存在するノイズを除去する補正部と、ノイズを除去した前記画像から凹凸の輪郭を含む特徴部を抽出する特徴抽出部と、前記特徴部の情報を記憶する記憶部と、新たに取り込んだ凹凸画像から抽出された凹凸の特徴部と、前記記憶部に記憶されている凹凸の特徴部とを比較し、同一の凹凸か否かを識別する識別部とを具備することを特徴とするウエハ識別装置。

IPC (3件)：

G06T 1/00 300 ,  G06T 7/00 300 ,  G06T 7/60 150

FI (3件)：

G06T 1/00 300 ,  G06T 7/00 300 E ,  G06T 7/60 150 U

Fターム (15件)：

5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057CA02 ,  5B057CE02 ,  5B057DA20 ,  5B057DB05 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32 ,  5L096AA03 ,  5L096BA20 ,  5L096CA01 ,  5L096CA14 ,  5L096EA05 ,  5L096FA08 ,  5L096HA08