位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224150
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066518
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、光位置検出部への入射光の強度分布を均一とし、誤差の生じ難い位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】変位部材(20)の移動方向と垂直な面に沿って照射された光照射部(10)からの照射光は、変位部材(20)の溝(21)に入射される。そして、溝(21)からの反射光は、入射光の向きと逆方向で、入射光の入射角と同じ角度になる。このように溝(21)から出射された反射光が、光位置検出部(30)に入射され、この反射光の入射位置の検出が行われる。

請求項（抜粋）：

測定対象の動きに応じて1次元的な移動をし、この移動方向と垂直な面に対してそれぞれ45°の角度で交わる2つの反射面からなるV字形の溝を有する変位部材と、前記変位部材の移動方向と垂直な面に沿って前記変位部材の溝に光を照射する光照射部と、前記光照射部からの照射光が前記変位部材の溝で反射した光の光路上に配設され、この反射光の入射位置を検出する光位置検出部とを備えることを特徴とする位置検出装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-228102
特開昭63-225116
特開昭64-035305

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