特許

J-GLOBAL ID：200903034345882941

平面表示パネル検査修正装置

発明者： 二宮 寿朗
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101228
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292008
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 修正装置において欠陥位置を特定する位置決め精度を向上させて、欠陥確認機能を省略することで低コストとスループット向上を実現する。【構成】 検査装置1と、装置間パネル搬送系20の装置間パネル搬送装置21と、ネットワーク22のデータ通信処理装置23と修正装置24からなる。検査装置1からの検査情報データに基づき、リニアスケールカウンタ42による位置検出をX軸、Y軸の各モータ46,47をコントロールするモータ制御装置43へフィードバックさせて、機械駆動系の誤差の影響を受けない欠陥位置の再現を行う。

請求項（抜粋）：

平面表示パネルの欠陥を検査する検査装置と、該欠陥の修正機構を有する修正装置と、各装置間で検査情報データもしくは修正情報データを伝達する情報伝達手段と、各装置間で平面表示パネルを搬送する搬送手段とを備え、前記搬送手段によって検査装置から修正装置に搬送された平面表示パネルの欠陥を、自動的に前記検査情報データに基づいて修正する平面表示パネル検査修正装置において、前記修正装置は、前記平面表示パネルあるいは修正機構を移動させる駆動手段と、前記平面表示パネルあるいは修正機構の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段の出力信号によって駆動手段を制御する制御手段と、からなり修正時に欠陥確認することなく欠陥位置を再現可能であることを特徴とする平面表示パネル検査修正装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

FI (3件)：

G01B 11/00 C ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352