特許

J-GLOBAL ID：200903034346823957

ポリマー硬化前駆物質材料ソースを有するプラズマリアクタ

発明者： ケネス コリンズ ,  マイケル ライス ,  デイヴィッド グルーチェル ,  ジェラルド ゼヤオ イン ,  ジョン モーン ,  クレイグ ロデリック ,  ダグラス ブクバーガー ,  チャン-ロン ヤング ,  ジェリー ウォング ,  ジェフリー マークス ,  ピーター ケスウィック
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-309301
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150021
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 シリコン酸化物対シリコンエッチング選択比の所望の向上を達成する。【解決手段】 ポリマー硬化前駆物質又はシリコン片はリアクタチャンバ壁及び天井部又は分離した拡大可能な敏速に取除き可能な片又はそのいずれかの統合部品であり、また加熱/冷却装置はシリコン片を伝導的に又は遠隔的に加熱する装置を含むいずれかの適当な形式のものである。

請求項（抜粋）：

リアクタチャンバの内部に面し、三次元的な形を有する内部表面を有する天井部を有する前記リアクタチャンバと;前記天井部の周囲に配置されたプラズマソースパワー結合装置とRFパワーを前記プラズマソースパワー結合装置へ供給するRFパワーソースと;プロセスガス吸気装置及び食刻剤エッチャント及びポリマー前駆物質を含有するプロセスガスを供給する前記吸気装置に結合されたプロセスガス供給装置と;前記リアクタチャンバ内部で処理されるべき物品を保持する支持装置と;前記チャンバ内部のポリマー硬化前駆物質片とを備えるプラズマリアクタ。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/02 Z