特許

J-GLOBAL ID：200903034348198251

接触式変位センサおよびワーク測定装置

発明者： 川竹 隆一
出願人/特許権者： 日本発条株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176183
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026302
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】 本発明の主な目的は、単位面積当たりに多数の接触式センサを配置でき、測定点のピッチが狭くても測定可能な測定装置を提供することにある。【解決手段】 ブロック状のセンサユニット11は、基板50に複数の検出コイル51を所定位置に埋設した第1の検出コイルブロック17と、基板70に複数の励磁コイル71を所定位置に埋設した励磁コイルブロック18と、基板80に複数の検出コイル81を所定位置に埋設した第2の検出コイルブロック19を積層したものであり、上下両面にガイドブロック16,20を配した状態で各ブロック17〜19が互いに固定されている。各ブロック17〜19のコイル51,71,81をプランジャ21が移動自在に貫通している。プランジャ21はパイプ30にコア33を内蔵したもので、コイル51,71,81に対するコア33の位置に応じた出力を取出すための差動トランスを構成している。

請求項（抜粋）：

第1の基板の所定位置に第1のコイルを埋設した第1のコイルブロックと、第2の基板を有しかつ上記コイルと対応した位置に第2のコイルが埋設されかつ上記第1のコイルブロックに直接または絶縁シートを介して積層した状態で固定される第2のコイルブロックと、上記第1のコイルと第2のコイルの中心を通りかつ上記各コイルブロックの厚み方向に移動自在なパイプおよびこのパイプに内蔵されたコアを有していて先端側に設けられた接触子が上記コイルブロックの外側に突出するプランジャと、上記プランジャをワークに向って付勢する付勢手段と、を具備したことを特徴とする接触式変位センサ。

IPC (3件)：

G01B 7/00 ,  G01B 7/28 ,  G01D 5/20

FI (3件)：

G01B 7/00 D ,  G01B 7/28 E ,  G01D 5/20 B