特許
J-GLOBAL ID:200903034351103245

フィゾー型フーリエ分光計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-089655
公開番号(公開出願番号):特開平6-300631
出願日: 1993年04月16日
公開日(公表日): 1994年10月28日
要約:
【要約】【目的】 外乱に強いフィゾー型の干渉計を構成するフーリエ分光計測装置を提供する。【構成】 検体10の表面からの光a1 を複屈折光学媒体23に入射させて常光線a3 と異常光線a4 とに分離し、ミラー24を移動させてこの2つの光a3,a4 の光路差を変化させる。
請求項(抜粋):
検体の表面からの光を集光する集光レンズと、該集光レンズにより集光された光の光路上に設けられた、該集光された光を常光線と異常光線とに分離する複屈折媒体と、該分離して得られた常光線および異常光線をそれぞれ反射し、該反射された常光線および異常光線を一致させる第1の反射手段および第2の反射手段と、該2つの反射手段によりそれぞれ反射されて一致した前記常光線と異常光線との光路上に設けられた、前記2つの光の所定の偏光面成分を通過させて該2つの光の偏光面成分同士を干渉せしめる偏光子と、該干渉された光の強度を検出する光検出器とを有し、前記第1の反射手段と前記第2の反射手段とは、前記複屈折媒体の前記常光線に対する屈折率に応じた該常光線の光路長と前記異常光線に対する屈折率に応じた該常光線の光路長とが等しくなるように配され、該第1の反射手段と該第2の反射手段とのうち少なくとも一方を、前記2つ光路長の差が変化するように移動させる駆動手段と、該光路長の差を検出する光路差検出手段と、該光路差検出手段により検出された光路差および前記光検出器により検出された光強度より前記検体の表面からの光のスペクトルを得るフーリエ変換を行うフーリエ分光手段とを備えてなることを特徴とするフィゾー型フーリエ分光計測装置。

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