固体撮像素子用カラーフィルタおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291649
公開番号（公開出願番号）：特開平9-116914
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】固体撮像素子の感度を上げることができると共に、カラーフィルタ上の膜形状によらずに固体撮像素子の分光感度特性を略同じにすることができるようにする。【解決手段】各画素毎の受光部(フォトセンサ)11が形成された半導体基板10上には、平坦化膜の下地膜12、平坦化膜13が順に形成され、平坦化膜13上にカラーフィルタ14が形成されている。カラーフィルタ14上にはマイクロレンズ15が形成されている。カラーフィルタ14は、受光部11に入射する光16が通過する部分における両面の形状がマイクロレンズ15の焦点Fを中心とする球面の一部をなすように形成され、受光部11に入射する光16の各光路に対するカラーフィルタ14の膜厚が略一定になっている。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子の受光部の前面側に設けられる固体撮像素子用カラーフィルタにおいて、固体撮像素子の受光部に入射する光のカラーフィルタを通過する際における光路長が光路によらずに略一定となるように、固体撮像素子の受光部に入射する光の各光路に対する膜厚を略一定としたことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタ。

IPC (4件)：

H04N 9/07 , G02B 5/20 101 , H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (4件)：

H04N 9/07 D , G02B 5/20 101 , H04N 5/335 V , H01L 27/14 D

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