特許

J-GLOBAL ID：200903034359108793

半導体露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法

発明者： 野元 誠
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122793
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315640
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 エアの熱容量が変化しても適切な温度制御を行なうことの出来る半導体露光装置及びデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 エアの温度を調節して露光装置本体に供給するエア温調供給装置を具備する半導体露光装置であって、エア温調供給装置は、露光装置本体に供給すべきエアの温度等の状態量を検出する手段11〜22と、エアの状態量からエアの熱容量を算出する手段25と、エアの熱容量値、エアの温度及び目標温度から最適な温度制御パラメータを算出する手段26と、このパラメータに基づいてエアを温度調節する温調器10を具備することを特徴とする。デバイス製造方法はこの露光装置を利用する。

請求項（抜粋）：

エアの温度を調節して露光装置本体に供給するエア温調供給装置を具備する半導体露光装置であって、該エア温調供給装置は、露光装置本体に供給すべきエアの状態量として少なくとも温度を検出する手段を有するエア状態量検出手段と、該エア状態量検出手段が検出したエアの状態量からエアの熱容量を算出する熱容量演算手段と、該熱容量演算手段が算出したエアの熱容量値、該エア状態量検出手段が検出したエアの温度及び目標温度から最適な温度制御パラメータを算出する温度制御パラメータ演算手段と、該パラメータ演算手段が算出した温度制御パラメータに基づいてエアを温度調節する温調器を具備することを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 E

Fターム (3件)：

5F046AA22 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02