特許

J-GLOBAL ID：200903034360454972

光導波路の製造方法

発明者： 浦野 章 ,  金森 弘雄 ,  向後 隆司 ,  広瀬 智財 ,  斉藤 眞秀
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-149216
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020337
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 より簡素な工程で光導波路の製造をなし得るようにする。【構成】 本発明の光導波路の製造方法は、所定のパターンで形成されたコアの周りに、より屈折率の低いクラッドを備えてなる光導波路の製造方法であって、クラッドの下部となる下部クラッド120を形成し、この下部クラッド層表面に所定のパターンで凹み125を設ける第1の工程と、下部クラッド表面に、屈折率を上昇させるドーパント(例えば、リン)を含むガラス微粒子130を堆積させた後、この堆積したガラス微粒子を焼結して、クラッドの上部となる上部クラッド140を形成すると同時に下部クラッドの凹みにコアを形成する第2の工程とを有する。

請求項（抜粋）：

所定のパターンで形成されたコアの周りに、より屈折率の低いクラッドを備えてなる光導波路の製造方法であって、前記クラッドの下部となる下部クラッドを形成し、この下部クラッド表面に前記所定のパターンで凹みを設ける第1の工程と、前記下部クラッド表面に、屈折率を上昇させるドーパントを含むガラス微粒子を堆積させた後、この堆積したガラス微粒子を焼結して、前記クラッドの上部となる上部クラッドを形成すると同時に前記凹みに前記コアを形成する第2の工程とを有する光導波路の製造方法。