特許
J-GLOBAL ID：200903034361332650
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137812
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311801
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構造で被検査物の表面の欠陥を確実に検出できる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 回転楕円体の一部から成り所定の開口部5を有して内壁を反射面2とした楕円ミラー3と、この楕円ミラー3の開口部5側に位置決めされる被検査物7と、前記楕円ミラー3の近傍に配設され前記開口部5側の他方の焦点方向に所定の検査用光Lを照射する光源9と、前記楕円ミラー3近傍に配設されて前記被検査物7から反射する検査用光Lを検出する光検出手段11とを備えた表面欠陥検査装置1において、前記光源9を前記楕円ミラー3の一方の焦点と他方の焦点の相互間に配置すると共に、前記被検査物7を前記楕円ミラー3の他方の焦点領域に位置決めし、前記光検出手段11を前記楕円ミラー3の一方の焦点近傍に位置決めした。
請求項（抜粋）：
回転楕円体の一部から成り所定の開口部を有して内壁を反射面とした楕円ミラーと、この楕円ミラーの開口部側に位置決めされる被検査物と、前記楕円ミラーの近傍に配設され前記開口部側の他方の焦点方向に所定の検査用光を照射する光源と、前記楕円ミラー近傍に配設されて前記被検査物から反射する検査用光を検出する光検出手段とを備えた表面欠陥検査装置において、前記光源を前記楕円ミラーの一方の焦点と他方の焦点の相互間に配置すると共に、前記被検査物を前記楕円ミラーの他方の焦点領域に位置決めし、前記光検出手段を前記楕円ミラーの一方の焦点近傍に位置決めしたことを特徴とした表面欠陥検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 Z
, G01B 11/30 C
