特許

J-GLOBAL ID：200903034381642892

機能性デバイス及びその製造方法

発明者： 松居 恵理子 ,  ウイリアム・フォード ,  ユリナ・ベッセル ,  安田 章夫 ,  丸山 竜一郎 ,  畠沢 剛信
出願人/特許権者： ソニー株式会社 ,  ソニー ドイチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-290823
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103625
出願日： 2005年10月04日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】ナノメートルサイズの機能性構造体からなり、この機能性構造体を外部電極に接続する接続抵抗を小さく抑えることができ、かつ、様々な機能性構造体の構造設計に与える制約を最小限に抑えることのできる配線手段を備えた機能性デバイス及びその製造方法を提供すること。【解決手段】絶縁層2が形成された基板1に、例えば1〜2μmの間隙を有する電極3と4が形成されているものとする。これらの電極上及び電極間に金属性のカーボンナノチューブを分散させた液を被着させた後、電極間に交流電圧を印加して、電極間を架橋するようにカーボンナノチューブを配置する。次に、やや大きい電圧を印加してカーボンナノチューブに欠除部8を形成し、カーボンナノチューブ6及び7に区分する。欠除部8に面したカーボンナノチューブ6及び7の開口部において、機能性構造体9の被内包部9a及び9eをそれぞれカーボンナノチューブ6及び7に内包させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

互いに離間した位置に被内包部を有する機能性構造体が、カーボンナノチューブに保持された機能性デバイスであって、 前記カーボンナノチューブに欠除部が形成され、この欠除部によって前記カーボンナ ノチューブが第1のカーボンナノチューブと第2のカーボンナノチューブに区分され、 前記欠除部に面した前記第1のカーボンナノチューブの開口部において、一方の前記 被内包部が前記第1のカーボンナノチューブに内包され、かつ、前記欠除部に面した前 記第2のカーボンナノチューブの開口部において、他方の前記被内包部が前記第2のカ ーボンナノチューブに内包されている、 機能性デバイス。

IPC (8件)：

H01L 29/06 ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00 ,  H01C 13/00 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 29/41

FI (9件)：

H01L29/06 601N ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01C13/00 Z ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618C ,  H01L27/04 P ,  H01L27/04 D ,  H01L29/44 Z

Fターム (33件)：

4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB14 ,  4M104BB36 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG15 ,  5F038AR07 ,  5F038AR16 ,  5F038CD18 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ20 ,  5F110AA04 ,  5F110AA16 ,  5F110CC03 ,  5F110CC10 ,  5F110DD05 ,  5F110EE01 ,  5F110EE08 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110GG01 ,  5F110GG22 ,  5F110GG23 ,  5F110GG32 ,  5F110GG42 ,  5F110GG57 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK22 ,  5F110HM02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微細電子デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-429567   出願人：富士ゼロックス株式会社