特許
J-GLOBAL ID：200903034386457732
薄板の位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-034406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223255
出願日： 2000年02月14日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 台上に載置された半導体素子等の薄板の位置調整をスライド手段で行う際、挟込んで薄板を曲折させないような薄板の位置決め装置を提供する。【解決手段】 ステージ20に載置された半導体素子10の所定位置に付されたマークを検出するカメラ50と、その視野54内に素子のマークがあるように、素子をスライドさせて位置調整を行う爪状部材30と、素子のマークがカメラで検出されて素子の位置が検出された際、素子をステージの所定位置に固定する複数の吸着孔24とが設けられた薄板の位置決め装置である。ステージに平坦で素子より広い載置面が上面に形成された載置台22が突出して設けられており、載置面から素子がはみ出さずに載置された際、素子の一面側に形成されたマークがカメラ視野内にある面積に形成され、且つ載置面に載置された素子のはみ出し部分に当接し、素子を滑らせる爪状部材先端面が載置台側面に当接するよう構成される。
請求項（抜粋）：
ステージに載置された薄板の所定位置に設けられたマークを検出する光学検出手段と、前記光学検出手段を構成するカメラの視野内に前記薄板のマークが位置するように、前記ステージに載置された薄板に先端面が当接し、前記薄板をスライドさせて薄板の位置調整を行うスライド手段を具備する位置調整手段と、前記位置調整手段によって薄板の位置調整が行われたとき、前記薄板をステージの所定位置に固定する固定手段とが設けられた薄板の位置決め装置であって、該ステージの一面側に、平坦で且つ前記薄板よりも広い載置面が上面に形成された載置台が突出して設けられていると共に、前記載置台の載置面が、前記載置面から薄板がはみ出すことなく載置されたとき、前記薄板のマークが前記光学検出手段を構成するカメラの視野内に位置する面積に形成され、且つ前記載置台の載置面に載置された薄板のはみ出し部分に当接し、前記薄板を載置面方向にスライドさせる前記スライド手段の先端面が、前記載置台の側面に当接するように構成されていることを特徴とする薄板の位置決め装置。
Fターム (9件)：
5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031JA04
, 5F031JA38
, 5F031JA50
, 5F031KA02
, 5F031KA03
, 5F031KA06
, 5F031LA07
