特許

J-GLOBAL ID：200903034392026999

欠陥検査方法と欠陥検査装置

発明者： 森川 雅弘 ,  中村 富夫 ,  堀井 康司
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 鶴若 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121730
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306157
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】正常部地合信号レベルに対して信号変化のある欠陥と非欠陥を判別可能とし、判別レベルを人為的な検査のレベルに近づけ、信頼性を高めることができる。【構成】欠陥検査装置は、照明光を被検査面に照射する照射手段31と、この被検査面からの反射光を受光し光電変換して直流出力信号と交流出力信号を得る検出手段32と、被検査面の正常部位からの反射光による直流出力信号レベルに対する信号出力方向と信号時間幅を抽出する1次処理と、交流出力信号においてしきい値を超える信号が発生する被検査面上の座標の連続性を判断する2次処理を組み合わせて、欠陥と非欠陥とを判別する欠陥判定処理手段33とを備えている。

請求項（抜粋）：

照明光を被検査面に照射し、この被検査面からの反射光を受光し光電変換して直流出力信号と交流出力信号を得て、前記被検査面の正常部位からの反射光による前記直流出力信号レベルに対する信号出力方向と信号時間幅を抽出する1次処理と、前記交流出力信号においてしきい値を超える信号が発生する被検査面上の座標の連続性を判断する2次処理を組み合わせて、欠陥と非欠陥とを判別することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-245045
  
• 特開平4-110758
  
• 疵検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-347247   出願人：住友金属工業株式会社, オムロン株式会社
• 特開昭58-204350