特許
J-GLOBAL ID：200903034404882977
可動板を有するスピンコーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078052
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283326
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 可動板の動作性を高めると共に、ワークの端面及び裏面への表面被覆剤の付着を防止できる可動板を有するスピンコーターを提供する。【構成】 本発明のスピンコーターには、ワーク10に接触可能な可動板19が設けられ、この可動板19にはカム溝19bが形成され、回転テーブル11を下方から覆う下カップ16には開閉可能な貫通穴20が設けられ、下カップ16の下方には貫通穴20を貫通して可動板19を移動させるカムピン26が設けられ、このカムピン26を上下方向に移動させるロッドレスシリンダ27及びカムピン26を水平方向にスライドさせる水平駆動シリンダ30が設けらいている。
請求項（抜粋）：
ワークを載置可能な回転テーブルと、この回転テーブルの駆動手段と、前記ワークの表面に対して表面被覆剤を滴下する滴下手段と、前記回転テーブルを上側から覆う上カップと、前記回転テーブルを下側から覆う下カップとを具備したスピンコーターにおいて、前記回転テーブルには可動板が前記ワークに対して接離するように移動可能に設けられ、前記可動板には、前記ワーク端面に接触可能な接触辺と、この接触辺をワーク端面に接離させるように設けられたカム溝とが形成され、前記上カップの上方または下カップの下方には前記カム溝に挿通可能なカムピンが設けられ、更に前記カムピンを上下方向に移動させる昇降手段及びカムピンを水平方向にスライドさせるスライド手段が設けられたことを特徴とする可動板を有するスピンコーター。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05C 5/00 101
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
