特許
J-GLOBAL ID：200903034418563211
ラッチングドアを備えた搬送モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509652
公開番号（公開出願番号）：特表2003-504886
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：
【要約】ウェハーコンテナはドア受容フレームとそれに寸法合わせされたドアとを有している。ドア(94)はラッチングリンク(250,252)を有しており、これらのラッチングリンクはラッチング部分をドアから、そしてドア受容フレームのラッチ受容部(150)の内外に延出させ上昇させ下降させまた後退させる。各ラッチング機構はスライドプレート(210)を利用しており、このスライドプレートにはドアの前方に露出したハンドル(170,172)が連結されている。このスライドプレートはラッチングリンクと協働するリフトリンク(220,222)を有している。ハンドルを動かすと、ラッチング部分がラッチング受容部内に延びる。互いに重なるリンクの傾斜面(226)とフォロワ面(277)とによって、ラッチング部分が第1の方向と直角な方向へ移動して、ドアを内側ヘ引き、そして、 ドアをコンテナ部分に対してシールする。スライドプレートはピニオン(290)と噛み合うラック部分(224)を有している。このピニオンはラッチキー(300)によってドアの前部からアクセスできる。
請求項（抜粋）：
a)ウェハーを保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、ドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、 b) 前記ドア開口部を覆う為に前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは前部を有しまた、 前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部を有しており、 さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、 前記ドアの前記前部で外部に露出したハンドルを有し、該ハンドルは側方に可動であり、 前記ラッチ受容部内へ延出しまた後退するためのラッチ部を有し、そして、 前記ラッチ部と前記ハンドルとの間を連結して前記ハンドルの側方への動きを前記ラッチ部の延出及び後退動に変換するための運動変換部を有する、 ウェハーコンテナ。
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031DA09
, 5F031EA02
, 5F031EA03
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031LA14
, 5F031LA16
, 5F031PA21
