特許

J-GLOBAL ID：200903034420353739

表面弾性波装置及びその製造方法

発明者： 守越 広樹
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130449
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321570
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 動作周波数の高周波化に伴って電極指幅が狭くなった場合であっても、電極の形成に支障が生じることがほとんどなく、又、高周波化に伴って損失が著しく増大することもない表面弾性波装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 c軸が基板表面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜の表面に、表面弾性波を励振、受振又は反射するための電極を形成したことを特徴とする表面弾性波装置。

請求項（抜粋）：

c軸が基板表面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜の表面に、表面弾性波を励振、受振又は反射するための電極を形成したことを特徴とする表面弾性波装置。

IPC (7件)：

H03H 9/25 ,  C30B 19/00 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/107 ,  H01L 41/18 ,  H03H 3/08

FI (7件)：

H03H 9/25 C ,  C30B 19/00 Z ,  C30B 29/32 A ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 A ,  H01L 41/18 101 A