特許
J-GLOBAL ID：200903034429765860
キャリアステーション
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-320817
公開番号（公開出願番号）：特開平5-155410
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 キャリアステーションに関し,複数のウエハーを分離して水平に保持し収容するカセットから,搬送機構により各ウエハーを搬送ミスを生じることなく,また障害なく取り出せるキャリアステーションの提供を目的とする。【構成】 カセット1を搭載するステージ2と, ステージ2を駆動する駆動部3,4と, カセット1の片側に配置され,水平な平行光を出射する投光器5と, カセット1に対して投光器5と反対側に配置され,上下に並ぶ複数の受光素子を備えた受光器6と, 受光器6に接続し,複数の受光素子からの信号を切り換えかつディジタル化する信号変換部7,8と, 信号変換部7,8及び該駆動部3,4に接続し,信号変換部7,8からの信号を処理し,その結果に基づいて駆動部3,4の駆動を制御する制御部9とを有するキャリアステーションにより構成する。
請求項（抜粋）：
複数のウエハーを分離して水平に保持し収容するカセットから,搬送機構により各ウエハーを外部に取り出すキャリアステーションにおいて,カセット(1) を搭載するステージ(2) と,該ステージ(2) を駆動する駆動部(3, 4)と,該カセット(1) の片側に配置され,水平な平行光を出射する投光器(5) と,該カセット(1) に対して該投光器(5) と反対側に配置され,上下に並ぶ複数の受光素子を備えた受光器(6) と,該受光器(6) に接続し,該複数の受光素子からの信号を切り換えかつディジタル化する信号変換部(7, 8)と,該信号変換部(7, 8)及び該駆動部(3, 4)に接続し,該信号変換部(7, 8)からの信号を処理し,その結果に基づいて該駆動部(3, 4)の駆動を制御する制御部(9)とを有することを特徴とするキャリアステーション。
IPC (2件)：
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