特許
J-GLOBAL ID:200903034434479948
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-094253
公開番号(公開出願番号):特開平7-300558
出願日: 1994年05月06日
公開日(公表日): 1995年11月14日
要約:
【要約】【構成】 下記式で示される繰り返し単位を有する(A)ポリベンゾオキサゾール前駆体、(B)シリコーンジアミン及び芳香族酸二無水物からなるシリコーン変性ポリアミド酸及び(C)感光性キノンジアジド化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で、(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【効果】 耐溶剤、基板および封止樹脂との密着性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を得ることができる。
請求項(抜粋):
(A)一般式(1)で示される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、【化1】(B)一般式(2)で示されるシリコーンジアミン及び芳香族酸二無水物からなるシリコーン変性ポリアミド酸及び【化2】(C)感光性キノンジアジド化合物を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
C08L 79/08 LRA
, C08K 5/28
, G03F 7/039
, C08G 73/22 NTR
引用特許:
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