特許
J-GLOBAL ID：200903034443142549
マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-150306
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001669
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 Si基板の片面加工のみで製造し、ポンプの小型化及び集積化を可能とするマイクロポンプとそのマイクロバルブ製造方法を提供する。【構成】 本発明は窒化膜を選択的酸化のマスクとして酸化膜を成長させて犠牲層とし、この犠牲層上に金属またはポリシリコンの薄膜を形成し、エッチングにより犠牲層である酸化膜を除去することによって、金属またはポリシリコンのダイヤフラムを形成しマイクロバルブを構成することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
Si基板上に形成された薄膜からなり、シール部、変位部、固定部を有するマイクロバルブにおいて、流体が通過するための貫通孔がシール部に形成される吐出側バルブと、該貫通孔が変位部に形成される吸入側バルブと前記吐出側バルブ及び吸入側バルブのシール部と接してバルブ機能をもたらすもう一つの基板を備えることを特徴とするマイクロポンプ。
IPC (2件)：
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