特許

J-GLOBAL ID：200903034446146995

耐腐食性静電チャック

発明者： ユウ ジア スウ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-285983
公開番号（公開出願番号）：特開平8-241920
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【課題】 腐食ガス環境下で実質的に耐腐食性を有する静電チャックを提供する。【解決手段】 耐腐食性チャック(20)は、外縁エッジ(26)を有するベース(24)に支持される静電材(22)を備える。ベースの外縁エッジ(26)の切込み部(28)が、チャック(20)の静電材(22)をプロセスチャンバ(36)内の電圧供給器(62)へ電気的に接続させる絶縁電気コネクタ(30)を保持する。切込み(28)の中の取り外しプラグ(40)が、絶縁電気コネクタ(30)の一部を覆い、プロセスチャンバ(36)内における腐食から電気コネクタ(30)を保護する。好ましくは、取り外しプラグ(40)は、ポリイミド等の実質的に耐腐食性のポリマーを備える。好ましくは、取り外しプラグ(40)は、実質的にL字型を有し、切込み(28)の底部内に「L」の底部と、切込み(28)の側部に対して隣接する「L」の側部とを有する。

請求項（抜粋）：

腐食性のガスを有するプロセスチャンバに用いる耐腐食性静電チャックであって、該チャンバは該チャックを荷電させるに適した電圧供給ソースを有し、該チャックは、(a)静電材と、(b)外縁を有し、該静電材を支持するベースと、(c)該ベースの外縁エッジの切込み部と、(d)該ベース上の該静電材を該プロセスチャンバの該電圧供給ソースに電気的に接続する、該切込み内の、絶縁された電気コネクタと、(e)該切込み内の取り外しプラグであって、該プラグは、該プロセスチャンバ内で該電気コネクタを腐食から保護するため、該絶縁された電気コネクタの一部をカバーする、該取り外しプラグとを備える耐腐食性の静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/302 B