特許

J-GLOBAL ID：200903034450662787

ステップスキャンフーリエ変換赤外分光装置

発明者： 栃木 憲治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034714
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231939
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】薄膜試料等の非常に微弱な赤外スペクトルを変調法により測定する際有効なステップスキャン干渉計駆動方式における測定精度を向上するステップスキャンフーリエ変換赤外分光装置を提供する。【構成】赤外光源と、ビームスプリッタ,固定鏡及びステップ状移動が可能な移動鏡で構成される干渉計及び赤外光の変調・検出手段と周波数安定化レーザを用いたレーザ干渉測長法を用いた移動鏡位置の精密測定手段からなる。【効果】非常に薄い試料や微量試料を変調分光及びステップスキャン法で高感度測定する際、高い波数精度が得られスペクトルの信頼性が向上し、またスペクトルのS/Nも向上するため、単分子程度の薄膜まで定性,定量可能となる。

請求項（抜粋）：

赤外光源とビームスプリッタ,固定鏡及び移動鏡から成り、移動鏡を所定の距離だけステップ状に移動,停止させながら、各々の停止位置において赤外光源から放射されビームスプリッタ,固定鏡及び移動鏡を透過,干渉する赤外光強度を検出器により測定しインターフェログラムを得るステップスキャン型フーリエ変換赤外分光装置において、移動鏡の各々の停止位置検出器を設け、前記検出器の検出値により固定鏡と移動鏡の光路差を求め、各々の停止位置の光路差及び赤外光強度の値から任意の等間隔光路差におけるインターフェログラムを補間することを特徴とするステップスキャンフーリエ変換赤外分光装置。