特許
J-GLOBAL ID：200903034450981769
インクジエツト記録ヘツドおよびその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187023
公開番号（公開出願番号）：特開平5-008391
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 インクジェット記録ヘッドにおいて、インク吐出時に発生するキャビテーションによる熱エネルギー発生素子の破壊、すなわち発熱抵抗層2の発熱部2aの破壊などを防ぐ耐キャビテーション層4bの耐久性を向上させる。【構成】 耐キャビテーション層4bをタンタルで構成し、耐キャビテーション層4bをバイアススパッタリング法で設けて、耐キャビテーション層4bの結晶構造が基体1の表面に垂直な方向を向いた柱状の結晶構造でないようにする。
請求項（抜粋）：
基体と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する液路と、前記液路に対応して前記基体上に設けられ、熱エネルギーを発生して前記熱エネルギーによって前記液路内のインクに気泡を発生させて前記吐出口からインクを吐出させる熱エネルギー発生素子と、前記熱エネルギー発生素子の前記液路に対向する面に設けられ、前記気泡が消泡するときのキャビテーションによる前記熱エネルギー発生素子の破壊を防ぐ耐キャビテーション層とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記耐キャビテーション層が、前記基体の表面に垂直な方向の柱状の結晶構造を有しないことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
