特許
J-GLOBAL ID:200903034461292817
流体吐出装置及び流体吐出方法
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-162349
公開番号(公開出願番号):特開2002-355593
出願日: 2001年05月30日
公開日(公表日): 2002年12月10日
要約:
【要約】【課題】 軸とハウジング間の間隙を高精度に制御し、流体の吐出量をさらに高精度に制御することができる流体吐出装置及び流体吐出方法を提供する。【解決手段】 軸6の軸方向の実位置と間隙δの目標値である軸の軸方向の目標位置との差に基づき電磁歪素子に流す目標電流に、電磁歪素子に流れる実電流が等しくなるように電流制御して間隙を制御する。
請求項(抜粋):
一方を可動端としもう一方を固定端とする電磁歪素子と、上記電磁歪素子を収納するハウジングと、上記電磁歪素子を上記ハウジングに対して相対的に回転自在かつ軸方向に移動可能に支持する支持装置と、上記電磁歪素子に回転を与える回転装置と、上記電磁歪素子の可動端側に締結された軸と、この軸と上記ハウジングで形成されるポンプ室と、このポンプ室の外部と上記ポンプ室と連通させる流体の吸入孔及び吐出口と、上記ポンプ室内に流入された上記流体を吐出口側に圧送する圧送装置と、上記ポンプ室と上記吐出口の間の流体抵抗の増減を図るために、上記電磁歪素子の駆動によって上記軸と上記ハウジング間の間隙を変化させて上記流体の吐出量を制御する流体吐出装置において、上記軸と上記ハウジング間の上記間隙を測定する複数個の変位センサと、上記複数個の変位センサにより測定される上記間隙の測定値の平均値を求め、上記平均値を上記軸の軸方向の実位置に変換する変換器と、上記軸と上記ハウジング間の上記間隙の目標値を上記軸の軸方向の目標位置として出力する位置指令発生手段と、上記目標位置と上記変換器から出力される上記実位置との差に基づき上記電磁歪素子の目標駆動信号を出力する位置制御器と、上記電磁歪素子の実駆動信号を検出する駆動信号検出器と、上記実駆動信号が上記目標駆動信号に等しくなるように駆動信号を制御する駆動信号制御器とにより、上記軸と上記ハウジング間の上記間隙を制御できるように構成したことを特徴とする流体吐出装置。
IPC (3件):
B05C 5/00 101
, B05B 12/00
, B05D 1/30
FI (3件):
B05C 5/00 101
, B05B 12/00 Z
, B05D 1/30
Fターム (18件):
4D075AC56
, 4D075AC92
, 4D075AC94
, 4D075AC99
, 4D075CA48
, 4D075DA06
, 4D075DB01
, 4D075DC18
, 4D075DC21
, 4D075EA35
, 4F035AA04
, 4F035BA21
, 4F035BB03
, 4F035BB05
, 4F035BC01
, 4F041AA01
, 4F041AB01
, 4F041BA01
前のページに戻る