特許
J-GLOBAL ID:200903034461576114
光電変換装置およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
宮崎 昭夫
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-148986
公開番号(公開出願番号):特開2005-012189
出願日: 2004年05月19日
公開日(公表日): 2005年01月13日
要約:
【課題】 実質的な感度低下をもたらすことなく集光効率を高めることができる層内レンズを有する光電変換装置等を提供する。【解決手段】 光電変換装置は、互いに隣接する2つの光電変換素子1の間に設けられた素子分離領域2の上方に設けられた第1のパターン4と、素子分離領域2の上方かつ第1のパターン4の上方に設けられた第2のパターン6と、第1のパターン4および第2のパターン6を間において光電変換素子1の上方に設けられたマイクロレンズ12とを有している。光電変換装置は、光電変換素子1とマイクロレンズ12との間の光路中に、光電変換素子1からマイクロレンズ12へ向かう方向に凸形状に形成された層内レンズ8をさらに有している。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の光電変換素子と、該光電変換素子の上方に設けられた第1のパターンと該第1のパターンの上方に設けられた第2のパターンとを少なくとも含む複数の配線層と、を含む光電変換装置であって、
前記光電変換素子上の光路中に、光の入射方向に対して凸形状に形成された層内レンズを有していることを特徴とする光電変換装置。
IPC (3件):
H01L27/14
, H01L31/10
, H04N5/335
FI (3件):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
, H01L31/10 A
Fターム (34件):
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA05
, 4M118FA06
, 4M118GB03
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AX01
, 5C024CX32
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024DX01
, 5C024EX43
, 5C024EX52
, 5C024GX03
, 5C024GX04
, 5C024GY01
, 5C024GY31
, 5C024GY41
, 5C024GZ36
, 5C024HX01
, 5C024HX17
, 5C024HX40
, 5C024HX41
, 5F049MA01
, 5F049NB05
, 5F049PA09
, 5F049PA14
, 5F049RA06
, 5F049SS03
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (13件)
-
固体撮像装置および製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-251241
出願人:ソニー株式会社
-
層内レンズの形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-332896
出願人:ソニー株式会社
-
固体撮像素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-189353
出願人:ソニー株式会社
-
固体撮像装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-267338
出願人:日本電気株式会社
-
光電変換装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-268724
出願人:キヤノン株式会社
-
固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-365552
出願人:キヤノン株式会社
-
半導体装置及び固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-304571
出願人:ソニー株式会社
-
特開平3-173472
-
特開昭63-174359
-
特開平4-206966
-
固体撮像素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-267397
出願人:ソニー株式会社
-
固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-030831
出願人:日本電気株式会社
-
特開平4-034977
全件表示
前のページに戻る