特許
J-GLOBAL ID：200903034468865812
シリコン単結晶引き上げ装置用の炭素製受皿
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣江 武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347697
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182288
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】受け取ったシリコン融液が基材内に浸み込まないようにすることができ、亀裂や破損の発生を防止することができることは勿論、シリコン融液による装置全体の破損や破壊をも防止することができて、シリコン単結晶引き上げ装置全体の安全化を図ることができ、結果として大口径のシリコン単結晶を製造するためのシリコン単結晶引き上げ装置に適用するのに適したものとすることのできる炭素製受皿を提供すること。【解決手段】炭素基材21の少なくとも内側表面に熱分解炭素からなる被膜22を形成したこと。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶引き上げ装置内の底面上に配置されて、上方から流下してきた溶融シリコンを受け取るための炭素製受皿であって、その少なくとも内側表面に熱分解炭素からなる被膜を形成したことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置用の炭素製受皿。
IPC (2件)：
C30B 29/06 502
, C30B 15/10
C30B 29/06 502 C
, C30B 15/10
