ディスプレイパネル用基板の製造方法、ディスプレイパネル用基板、プラズマディスプレイパネル、プラズマディスプレイ装置及び、ディスプレイパネル用基板

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-392827
公開番号（公開出願番号）：特開2002-197969
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】焼成時の収縮に起因する金属電極の端部の反り上がりを抑制して高信頼性のPDPを得ることが可能なディスプレイパネル用基板の製造方法を得る。【解決手段】前面ガラス基板1上に透明電極2を形成し、透明電極2を覆って感光性の金属膜11を形成し、第1の幅の開口部13を有するフォトマスク12を用いて金属膜11を露光する。そして、露光後の金属膜11を現像することにより黒色電極3aを形成する。次に、黒色電極3a及び透明電極2を覆って金属膜14を形成した後、第2の幅の開口部16を有するフォトマスク15を用いて、金属膜14を露光する。その後、露光後の金属膜14を現像することによりバス電極3bを形成する。最後に、500〜700°C程度の高温で約2時間半焼成して、有機成分を除去する。

請求項（抜粋）：

(a)基板の主面上に帯状の透明電極を形成する工程と、(b)前記透明電極上に、前記透明電極の幅よりも狭い第1の幅の帯状の第1の金属電極を形成する工程と、(c)前記第1の幅よりも狭い第2の幅の帯状の第2の金属電極を、前記第1の金属電極上に形成する工程と、(d)前記工程(c)により得られる構造を焼成する工程とを備える、ディスプレイパネル用基板の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 330 , H01J 11/02

FI (4件)：

H01J 9/02 F , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 330 Z , H01J 11/02 B

Fターム (29件)：

5C027AA01 , 5C040FA01 , 5C040GB03 , 5C040GB14 , 5C040GC19 , 5C040JA21 , 5C040MA23 , 5C094AA21 , 5C094AA31 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA31 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EA05 , 5C094EA10 , 5C094EB02 , 5C094ED15 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB06 , 5G435CC09 , 5G435HH12 , 5G435KK05

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