特許
J-GLOBAL ID:200903034470221779
圧力センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
安藤 淳二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-178210
公開番号(公開出願番号):特開2000-009568
出願日: 1998年06月25日
公開日(公表日): 2000年01月14日
要約:
【要約】【課題】 流体が腐食性流体であっても半導体センサ部を腐食させることなく、かつ小型化できる圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力伝達媒体4を介して流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、底部11及び側壁12を有した有底筒状に形成されて筒内部が前記流体充填空間1aを形成する流体充填筒1と、前記エアトラップ空間2bを形成する容器内部及び容器底部21bを有して、その容器底部21b側へ配された前記圧力伝達媒体4の液面41に底部11が対面するよう流体充填筒1を配設して、前記エアトラップ空間2bが流体充填筒1の底部11及び側壁12を介して前記流体充填空間1aに隣接するエアトラップ気密容器2と、一方開口部31が前記圧力伝達媒体4の液面41から突出して前記流体充填空間1aに前記流体を導入する流体導入管3とを備えた構成にしてある。
請求項(抜粋):
流体を流体充填空間に充填し、流体の圧力が圧力伝達媒体を介してエアトラップ空間に充填されたエアーに伝達され、エアトラップ空間に連通した半導体センサ部がエアーを介して流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、底部及び側壁を有した有底筒状に形成されて筒内部が前記流体充填空間を形成する流体充填筒と、前記エアトラップ空間を形成する容器内部及び容器底部を有して、その容器底部側へ配された前記圧力伝達媒体の液面に底部が対面するよう流体充填筒を配設して、前記エアトラップ空間が流体充填筒の底部及び側壁を介して前記流体充填空間に隣接するエアトラップ気密容器と、一方開口部が前記圧力伝達媒体の液面から突出して前記流体充填空間に前記流体を導入する流体導入管とを備えたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 9/04 101
, G01L 19/06
, G01L 19/14
FI (3件):
G01L 9/04 101
, G01L 19/06 Z
, G01L 19/14
Fターム (8件):
2F055AA31
, 2F055BB20
, 2F055CC01
, 2F055DD04
, 2F055EE13
, 2F055FF38
, 2F055GG25
, 2F055HH07
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