特許

J-GLOBAL ID：200903034471179318

結晶成長方法

発明者： 中嶋 一雄 ,  鈴木 貴志 ,  楠木 敏弘
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030917
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143389
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】 多元系結晶の再成長法を提起し,均一組成を持ち, 内部歪みの少ない結晶を得る。また,ソース結晶と相平衡にあるメルトを成長中につくる。【構成】1)第1組成を有する第1原料結晶と,第1組成の液相成長温度で相平衡にある融液組成と同一の組成を有する第2原料結晶とを接続し,液相成長温度に維持して第2原料結晶のみを溶解するとともに,溶解部を第1原料結晶方向に移動させ,第1組成を再結晶成長する。2)被成長結晶組成と同一の組成の第1結晶と,被成長結晶の成分を含み且つ被成長結晶の成長温度近傍で相平衡にある融液組成を持つ材料より融点の低い第2結晶と,成長すべき結晶の成分の少なくとも一部を含み且つ成長すべき結晶より融点以上の種結晶とをこの順に接触させて成長容器内に配置し,第2結晶を融点以上の温度に加熱して融解し第1結晶と相平衡にある融液温度に保持し,融解部を第1結晶方向に漸次移動させる。

請求項（抜粋）：

多元系の第1の組成を有する第1の原料結晶と,該第1の組成の液相成長温度で相平衡にある融液組成と同一の組成を有する多元系の第2の原料結晶とを接続し,前記液相成長温度に維持して該第2の原料結晶のみを溶解するとともに,前記溶解部を該第1の原料結晶方向に移動させ,該第1の原料結晶を補給用原料とすることで該第1の組成を再結晶成長することを特徴とする結晶成長方法。

IPC (6件)：

C30B 13/08 ,  C30B 27/00 ,  C30B 29/40 501 ,  C30B 29/48 ,  C30B 29/52 ,  H01L 21/208

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭52-024166
  
• 特開平3-183683
  
• 単結晶の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-279931   出願人：株式会社ジャパンエナジー
• 特開昭52-024167