特許

J-GLOBAL ID：200903034492856778

3次元物品に遮断被膜を蒸着するための装置

発明者： デイヴィッド ビー.モンゴメリー
出願人/特許権者： ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニー
代理人 (1件)： 谷 義一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259949
公開番号（公開出願番号）：特開平10-121255
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】 高密度でマトリクス配置された3次元物品に対し良好なプラズマ蒸着を行う。【解決手段】 プラズマ蒸着により、無機材料の被膜が低融解温度ポリマー物品を含む3次元物品上に形成され、この被膜は優れた気体および/または水に対する遮断特性を有する。

請求項（抜粋）：

2つまたはそれ以上の3次元物品の外表面にプラズマ化学蒸着による遮断膜を被覆できる装置において、空密減圧室と、前記物品にモノマーを送る手段と、前記物品に酸化剤を送る手段と、前記物品の内表面の内側に高周波電力の供給された電極を挿入する手段と、少なくとも2つの電極と、前記物品を収容する前記室の内部を減圧しこれを維持するための手段と、前記空密減圧室に上記要素を収容する手段と、を具え、前記装置はポンプステーションに蒸着され、および前記室は前記物品の内側にエネルギーを導入する手段に取付けられ、該手段は高周波電力発生器であることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

C23C 16/50 ,  C08J 7/00 306 ,  C08J 7/04 ,  C08J 7/18

FI (4件)：

C23C 16/50 ,  C08J 7/00 306 ,  C08J 7/04 P ,  C08J 7/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平6-510234
  
• プラズマ増強形化学蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-053748   出願人：ザビーオーシーグループインコーポレイテツド
• 特表平6-510234