特許
J-GLOBAL ID：200903034498319634
マイクロレンズ付き固体撮像素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218902
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074331
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】中間層での光の吸収を低減し各受光部に入射する光の強度を高めるために、中間層の膜厚を薄膜化するマイクロレンズ付き固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【構成】平坦化のための中間層501に中空部8を形成し、この中に屈折率の大きな樹脂を充填して、マイクロレンズ9にする。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に受光部と電荷転送部を形成し、前記受光部に対向するマイクロレンズを有する固体撮像素子の製造方法において、前記基板上に中間層を形成し、前記中間層の前記受光部上に位置する部分に中空部を形成し、前記中空部を前記中間層より大きな屈折率を有する樹脂で充填して前記マイクロレンズを形成することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
IPC (2件)：
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