特許

J-GLOBAL ID：200903034503530756

温純水を用いた物品の洗浄方法

発明者： 大見 忠弘 ,  自在丸 隆行 ,  西村 松臣
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114510
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、カリウムに代表されるアルカリ金属を効率よく除去できる洗浄方法を提供する。また、本発明は、硫酸や塩酸等の高濃度の薬液を用いることなく、カリウムに代表されるアルカリ金属の除去が可能な簡単な洗浄方法を提供する。【解決手段】 本発明は、カリウムを含む処理剤に接した物品を洗浄する洗浄方法において、80°C以上の温度の純水に該物品を接触させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カリウムを含む処理剤に接した物品を洗浄する洗浄方法において、80°C以上の温度の純水に該物品を接触させることを特徴とする洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/08 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

B08B 3/08 A ,  H01L 21/304 341 M